微納米生物晶元技術多少錢

❶ 什麼是微納米技術

微納米技術（MEMS,nanotechnology）為微機電系統(MEMS)技術和納米科學技術（nanoscienceandtechnology,nanoST）的簡稱。是20世紀80年代末在美國、日本等發達國家興起的高新科學技術。由於其巨大的應用前景，因此自問世以來微納米技術受到了各國政府和學者的普遍重視，是當前科技界的熱門研究領域之一。

微機電系統技術主要涉及0.1μm到數毫米尺度范圍內的感測器、微執行器和微系統的研究開發，它以單晶硅為基本材料，以光刻並行製造為主要加工特點，採用微電子工藝設備結合其他特殊工藝設備作為加工手段。

納米尺度一般是指1～100nm，納米科學是研究納米尺度范疇內原子、分子和其他類型物質運動和變化的科學，而在同樣尺度范圍內對原子、分子等進行操縱和加工的技術則稱為納米技術，納米尺度的機電系統則稱作納機電系統。

可見二者之間既有聯系又有區別，前者是後者的基礎，而後者是前者的發展方向。

❷ 納米晶元的研發現在到了什麼地步

在2002年7月份，曾在幾年前宣布摩爾定律死刑的這一定律的創始人戈登·摩爾接受了記者的采訪。不同的是，這次他表現得很樂觀，他表示：「晶元上晶體管數量每18個月增加二倍的速度雖然目前呈下降趨勢，但隨著納米技術的發展，未來摩爾定律依然會繼續生效。」

看來，摩爾本人也把希望寄託在了納米技術上。下面就讓我們來看看納米技術怎樣製造納米晶元。

20世紀可以說是半導體的世紀，也可以說是微電子的世紀，微電子技術是指在半導體單晶材料(目前主要是硅單晶)薄片上，利用微米和亞微米精細結構技術，研製由成千上萬個晶體管和電子元件構成的微縮電子電路(稱為晶元)，並由不同功能的晶元組裝成各種微電子儀器、儀表和計算機。晶元也可以看做是集成電路塊。

集成電路塊由小規模向大規模發展的歷程，可以看做是一個不斷向微型化發展的過程。20世紀50年代末發展起來的小規模集成電路，它的集成度(一個晶元包含的元件數)為10個元件；20世紀60年代發展成中規模集成電路，集成度為1000個元件；20世紀70年代又發展了大規模集成電路，集成度達到10萬個元件；20世紀肋年代更發展了特大規模集成電路，集成度超過100萬個元件。就在1988年，美國國際商用機器公司(1BM)已研製成功存儲容量達64兆的動態隨機存儲器，集成電路的條寬只有0 .35微米。

目前實驗室研製的新產品為0?25微米，並向0?1微米進軍。到2001年已降到0?1微米，即100納米。這將成為電子技術史上的第四次重大突破。今天，晶元的集成度已進一步提高到1000萬個元件。如果晶元的技術再往上攀一層，集成電路的條寬再縮小，將會出現一系列物理效應，從而限制了微電子技術的發展。

科學家為了沖破這個阻礙，為了解決這個困難，已經提出納米電子學的概念。這一現象說明了：隨著集成電路集成度的提高，晶元中條寬越來越小，因此對製作集成電路的單晶硅材料的質量要求越來越高，哪怕是一粒灰塵也可能毀掉一個甚至幾個晶體管，這也是為什麼摩爾本人幾年前宣判摩爾定律「死刑」的原因。

據有關專家預測，在21世紀，人類將開發出微處理晶元與活細胞相結合的電腦。這種電腦的核心元件就是納米晶元。晶元是電腦的關鍵器件。同時也是生命科學和材料科學的發展核心內容，科學家們正在開發生物晶元，包括蛋白質晶元及DNA晶元。

所謂的蛋白質晶元，就是用蛋白質分子等生物材料，通過特殊的工藝制備成超薄膜組織的積層結構。例如把蛋白質制備成適當濃度的液體，使之在水面展開成單分子層膜，再將其放在石英層上，以同樣方法再制備一層有機薄膜，即可得到80～480納米厚的生物薄膜。這種薄膜由兩種有機物薄膜組成。當一種薄膜受紫外光照射時，電阻上升約40％左右，而用可見光照射時，又恢復原狀。而另一種薄膜則不受可見光影響，但它受到紫外光照射時，電阻便減少6％左右。

據了解，日本三菱電機公司把兩種生物材料組合在一起，製成了可以光控的新型開關器件。並且這種器件深受人們的喜愛。這種薄膜為進一步開發生物電子元件奠定了實驗基礎，並為以後的發展創造了良好的條件。

這種蛋白質晶元，體積小、元件密度高，據測每平方厘米，可達1015～1016個，比硅晶元集成電路高上萬倍，表明這種晶元製成的裝置其運行速度要比目前的集成電路快得多。

由於這種晶元是由蛋白質分子組成的，在一定程度上具有自我修復能力，即成為一部活體機器，因此可以直接與生物體結合，如與大腦、神經系統有機地連接起來，可以擴展腦的延伸。

有人設想，將蛋白質晶元植入大腦，將會出現奇跡。那麼如果視覺先天缺陷或後天損傷是否可以得到修復，使之重現光明呢？

雖然目前生產與裝配上述分子元件還處於探索階段，而且天然蛋白質等生物材料不能直接成為分子元件，必須在分子水平上進行加工處理，但這種生物晶元的前途是光明的，它將會給人類帶來一份厚重的禮物。世界上一些大公司，如日立、夏普等都看好生物晶元的前景，十分重視這項研究工作。

人的大腦約有140億個神經細胞，掌管支配著思維、感覺及全身的活動。雖然電腦已面世多年；但其精細程度和人腦相比，仍然差一大截。

為了使電腦早日具有人腦的功能和效率，科學家近年致力研究開發人工智慧電腦，並已取得不少進展。人工智慧電腦是以生物晶元為基礎的。生物晶元有多種，血紅蛋白集成電路就是新型的生物晶元之一。

美國生物化學家詹姆士·麥克阿瑟，首先構想把生物技術與電子技術結合起來。他根據電腦的二進制工作原理，發現血紅蛋白也具有類似「開」和「關」的雙穩態特性。比如當改變血紅蛋白攜帶的電荷時，它會出現上述兩種變化，這就有可能利用生物的血紅蛋白構成像硅電子電路那樣的邏輯電路。麥克阿瑟利用生物工程的重組DNA技術，製成了血紅蛋白「生物集成電路」，使研製「人造腦袋」取得了突破性進展。從這次事件以後，生物集成電路的研究便逐步展開。

美國科學家在硅晶片上重組活細胞組織獲得成功。它具有硅晶片的強度，又有生物分子活細胞那樣的靈活和智能。德國科學家所研製成的聚賴氨酸立體生物晶片，在1立方毫米晶片上可含100億個數據點，運算速度更達到10皮秒(一千億分之一秒)，比現有的電腦都要快近100萬倍。

DNA晶元又稱基因晶元，DNA是人類的生命遺傳物質脫氧核糖核酸的簡稱。因為DNA分子鏈是以ATGC(A-T、G-C)為配對原則的，它採用的是叫做「在位組合合成化學」和微電子晶元的光刻技術或者用其他方法，將大量特定順序的·DNA片段，有序地固化在玻璃或者矽片上，從而構成儲存有大量生命信息的DNA晶元。

DNA晶元，是近年來在高新科技領域出現的具有時代特徵的重大技術創新，它孕育著一個極為廣闊的前景。

每一個DNA就是一個微處理器。DNA的存儲量是很大的，每克DNA可以儲存上億個光碟的信息。並且DNA計算速度是超高速的，理論上計算，它的運算速度每小時可達1015次數，是硅晶元運算速度的1000倍。不過，目前的主要難點是解決DNA的數據輸出問題。

DNA晶元有可能將人類的全部約8萬個基因集約化地固定在1平方厘米的晶元上。在與待測樣品的DNA配對後，DNA晶元即可檢測出大量相應的生命信息。例如尋找基因與癌症、常見病、傳染病和遺傳疾病的關系，進一步研究相應葯物。

目前已知有6000多種遺傳病與基因相關，還有些是環境對人體的影響，例如花粉過敏和對環境污染的反應等都與基因有關。據了解，到目前為止，已有200多個與環境影響相關的基因，這些基因的全面監測，對生態、環境控制及人類健康均有重要意義。

DNA晶元技術既是人類基因組研究的重要應用課題，又是功能基因研究的嶄新手段。例如單核苷酸的多態性，是一個非常重要的生命現象，科學家認為，人體的多樣性和個性取決於基因的差異，正是這種單核苷酸多態性的表現，如人的體形、長相與500多個基因相關。通過DNA晶元，原則上可以斷定人的特徵，甚至臉形、長相、外貌特點，生長發育差異等。

「晶元巨人」英特爾公司於2000年12月公布，英特爾公司用最新納米技術研製成功30納米晶體管晶元。新型晶元的運算速度已達到目前運算速度最快晶元的7倍。它能在子彈飛行30厘米的時間內運算2000萬次，或在子彈飛行25毫米的時間內運算200萬次。

晶體管門是計算機晶元進行運算的開關，新晶元是以3個原子厚度的晶體管「門」為基礎，比目前計算機使用的180納米晶體管薄很多。要製造這種晶元的障礙就要控制它產生的熱量。因為晶元的運行速度越快，產生的熱量就越多。過多的熱量會使製造計算機晶元所用的材料受到損壞。英特爾公司經過了長期的研究，解決了這一問題。這種原子級晶體管是用新的化學合成物製成的，這種新材料可以使晶元在運行時溫度不會過高。這種晶元的出現將為研製模擬以人的方式，這就可以為和人進行交流的電腦創造也優越的條件。英特爾公司說，他們開發出的這種迄今世界上最小最快的晶體管，厚度僅為30納米。英特爾公司稱，用這種新處理器製造的產品投放到市場，這就將為晶元行業的發展打開了另一道黃金之門。

英特爾公司的一位工程師說：「30納米晶體管的研製成功使我們對硅的物理極限有了新看法。硅也許還可以使用15年，此後會有什麼材料取代硅，這將是難以預測的事情。」他又說：「更小的晶體管意味著更快的速度，而運行速度更快的晶體管是構築高速電腦晶元的核心模塊，電腦晶元則是電腦的『大腦』。」英特爾公司預測，利用30納米晶體管設計出的電腦晶元可以使「萬能翻譯器」成為現實。比如說英語的人到中國旅遊，通過隨身攜帶的翻譯器，可以將英語實時翻譯成中文，在機場、旅館或商店不會有語言障礙。

在安全設施方面，這種晶元可以使警報系統識別人的面孔。此外，將來用幾千元人民幣就可以買一台高速台式電腦，其運算能力可以跟現在價值上千萬元的大型主機媲美，慢慢地將會滲透到我們的生活中。

單位面積上晶體管的個數是電腦晶元集成度的標志，晶體管數量越多，說明集成度越高，隨之處理速度就越快。30納米晶體管將開始出現在用0?07微米技術產品上，目前英特爾公司使用的是0?18微米技術，而1993年的「奔騰」處理器使用的是0?35微米技術。在晶元上「刻畫」電路，0?07微米技術用的是超紫外線光刻技術，這將比2001年最先進的深紫外線光刻技術更為先進。如果在紙上畫線，深紫外線光刻使用的是鈍鉛筆，而超紫外線光刻使用的是削尖了的鉛筆。

晶體管越來越小的好處主要有兩方面：一是可以用較低的成本提高現有產品性能；二是工程師可以設計原來不可能的新產品。

這兩個好處正是推動半導體技術發展前進的動力，因為企業提高了利潤，就有可能在研發上投入更多。

看來，納米技術的確可以延長摩爾定律的壽命，這也正是摩爾本人和眾多技術人員把目光放到納米技術之上的原因所在。希望在不久的將來，這一高技術將在人間問世。

❸ 微納米生物晶元技術的簡介

據悉，國際最新癲癇治療高科技項目微納米生物晶元技術已經取得解放軍軍部、國家權威醫療衛生部門認可和臨床驗證，並被允許臨床推廣。

❹ 晶元的納米技術指的是什麼

晶元的納米技術指的是採用納米技術，讓晶元縮小製程，從而在更小的晶元中塞入更多的電晶體，以此增加處理器的運算效率。納米技術可以減小晶元體積，也有助於降低耗電量，滿足輕薄化的需求。

納米製程是什麼

納米製程技術是英特爾推出的處理器製造技術。CPU製造工藝又叫做CPU製程，它的先進與否決定了CPU的性能優劣。以14 納米為例，其製程是指在晶元中，線最小可以做到 14 納米的尺寸。縮小電晶體的最主要目的就是為了要減少耗電量。

納米技術也稱毫微技術，納米是一種幾何尺寸的度量單位，1納米=百萬分之一毫米。納米是用單個原子、分子製造物質的科學技術。納米科學與技術主要包括納米體系物理學、納米化學、納米材料學、納米生物學、納米電子學、納米加工學、納米力學等。

❺ 微納米生物晶元技術的優勢

優勢一：
高效治療效果，徹底治癒杜絕復發。「微納米生物晶元技術」從根本解決了癲癇發作病因以及頑固不愈反復發作的根本。治療一周內即可出院，臨床診治24561例患者經全程觀察監測無一例子復發/發作症狀。
優勢二：
「微納米生物晶元技術」快速阻斷大腦神經元異常放電，迅速修復大腦受損腦細胞，促進新細胞再生，從而縮短治療時間。並減輕癲癇發作強度，通過阻斷神經元異常放電，阻止癲癇繼續發作的作用。對有發作徵兆的癲癇患者，可以起到推遲發作時間、發作強度的作用。並有效緩解癲癇發作過程中，大腦強烈的異常放電對腦組織的損傷，和癲癇發作後出現的眩暈、頭痛等不良症狀。
優勢三：
「微納米生物晶元技術」注重癲癇發病原因和發病機制的探究，利用美國HC全數字化癲癇病灶定位系統，五分鍾便可迅速查出大腦異常放電區域，精確定位癲癇病灶部位，准確診斷出發病的病因和病理，進行癲癇分型、分類、分性、分期的全方位個性化治療。
優勢四：
綠色安全無創修復。不用手術無風險，無需吃葯更安全，不需要像傳統治療那樣需要進行開顱手術，由於生物晶元智能調節顱內神經興奮及異常發作的微弱電流，患者治療完全無風險無痛苦。「微納米生物晶元技術」是一種系統化綜合性治療方案，從前期的源灶定位到後期的放電阻斷、內源修復，均是通過儀器治療完成，加上治療所取得的卓越效果，患者再也不用終生用葯，完全不用擔心葯毒副作用，本世紀神經內科無創自然康復的新突破。

❻ 微納米生物晶元技術的作用

微納米技術作用：從根本解決了癲癇發作病因以及頑固不愈反復發作的根本。治療周期2-3天即可出院，通過臨床應用36540例觀察，無1例出現症狀發作。從而全方位、多方面、精細阻斷大腦皮層的異常放電，達到立體綜合地治療癲癇疾病，杜絕發作，實現臨床治癒。該技術標本兼治，是目前國際最為先進的癲癇專項技術。

❼ 微納米生物晶元技術的原理

生物晶元技術原理：首先利用生物智能全數字癲癇定位儀查出致癇病灶，並進行精確定位，運用生物晶元技術進行植入病灶頂部，運用生物晶元調節神經興奮及異常發作的微小電流，晶元植入後(就是出現發作人體也感應不到，因為電流被晶元吸收，就不會出現電流刺激神經和腦細胞，各種肢體抽搐等異常症狀即刻消失)。而治療系統中另一項需同時進行的血液磁化技術，它是依據生物物理學、生物磁學、生物光學、生物化學的原理，將磁、光、氧有機結合形成磁共振作用，以血液為媒介調節機體代謝實現對機體的治療，它能感應和影響人體電流分布、電荷微粒的運動、膜系統的通透性和生物高分子的磁矩取向等，清除大腦異常電流，穩定神經細胞膜，提高神經細胞興奮閾，抑制大腦神經元高頻放電和沖動的傳播。在腦部形成穩定的生物磁場，使異常放電的神經元電位趨於平衡，調整神經網路電失衡。對神經細胞功能失調有整合作用,對缺氧破損的神經細胞有修復作用,可以增進神經細胞的重新生長,針對性的修復受損的神經細胞，從而產生鎮靜、解痙作用，激發神經自身保護功能，促使神經功能恢復。

❽ 微米技術可以做什麼

可以通過微米光的技術一次性治癒各種贅生物（如尖銳濕疣），或者是治療宮頸柱狀上皮外移糜爛面的修復。
微米光治療儀的作用，微米光是一種新型光療治療儀，還有各種微量元素光元素，具有方向性好、穿透力強的優勢。可以通過微米光的技術一次性治癒各種贅生物（如尖銳濕疣），或者是治療宮頸柱狀上皮外移糜爛面的修復。微米光可以在較短的時間內使病變組織部位的蛋白質固化，增強局部的免疫力，改善機體的免疫功能狀態，促進局部組織的新陳代謝，還可以消炎消腫促進局部組織的癒合。
微米光治療儀的作用，微米光是一種新型光療治療儀，還有各種微量元素光元素，具有方向性好、穿透力強的優勢。可以通過微米光的技術一次性治癒各種贅生物（如尖銳濕疣），或者是治療宮頸柱狀上皮外移糜爛面的修復。微米光可以在較短的時間內使病變組織部位的蛋白質固化，增強局部的免疫力，改善機體的免疫功能狀態，促進局部組織的新陳代謝，還可以消炎消腫促進局部組織的癒合。
摘 要 材料與結構在微納米尺度展現了許多不同於宏觀尺度的新特徵，納米技術已經成為當前科學研究與工
業開發的熱門領域之一& 微小型化依賴於微納米尺度的功能結構與器件，實現功能結構微納米化的基礎是先進的
微納米加工技術& 文章對微納米加工技術做了一個綜合的介紹，簡要說明了微納米加工技術與傳統加工技術的區
別& 在微納米加工技術的應用方面提出了一些合理選擇加工技術的原則，並對當前微納米加工技術面臨的挑戰和
今後發展的趨勢作了預測&
關鍵詞 微納米技術，微納米加工，微系統技術，微小型化
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5 引言
當 5MNH 年 5E 月美國貝爾實驗室的科學家發明
了世界上第一隻晶體管，他們不會想到 F6 多年後的
今天，這場由晶體管引發的微電子技術革命已經深刻
地影響了現代社會的面貌& 由半導體微電子技術以及
由此引發的各種微型化技術除了成為現代高科技產
業的主要支柱之外，也深入到現代生活的所有領域，
尤其是所謂 O/ 領域，即消費類電子產品（+=,7』<39），
計算機（+=<#』"39）與通信（+=<<』,)+*")=,）& 今天，功
能強大的筆記本計算機，品種繁多小巧玲瓏的多功能
移動通信工具和花樣翻新的家用電器已隨處可見& 除
了集成電路之外，微型化技術導致了微系統的發展，
開發出直徑只有 5<< 的微馬達，指甲大小的微攝像
頭，豌豆大小的氣相色譜分析裝置，晶元上的光學平
台和化學分析實驗室等& 如果說集成電路晶元提供了
一個系統的思考與決策的大腦，微系統技術則以各種
微感測器與微執行器提供了系統的感官、手與腳& 系
統微型化成為今後現代工業發展的必然趨勢& 如果按
微型化的尺度衡量，集成電路技術與微系統技術還屬
於微米技術& 自 E5 世紀以來，由半導體微電子技術引
發的微型化革命進入了一個新的時代，這就是納米技
術時代& 從微米到納米的過渡不僅僅是量的過渡而且
·;:·
"# 卷（$%%& 年）』 期 ())*：++,,,- ,./0- 12- 23
代表了質的躍遷- 材料與結構在 』%%34 以下顯現出不
同於宏觀世界的性質- 納米科技為人類展現了微觀世
界的新天地- 從晶體管到集成電路，從微電子到微機
械與微流體，從微米技術到納米技術，微納米技術已
經成為當今高科技的代名詞無論是集成電路技術，還是微系統技術或納米
技術，其共同的特徵是功能結構的尺寸在微米或納
米范圍，因此可以統稱為微納米技術- 微納米技術依
賴於微納米尺度的功能結構與器件- 實現功能結構
微納米化的基礎是先進的微納米加工技術- 在過去
的 #% 年中，正是微納米加工技術的發展促進了集成
電路的發展，導致集成電路的集成度以每 』5 個月翻
一番的速度提高- 現代微納米加工技術已經能夠將
上億只晶體管做在方寸大小的晶元上- 最小電路尺
寸為 6%34 的集成電路晶元已經開始大規模生產-
" 的集成電路晶元已開始小批量工業化生產，而
7#34 加工水平的集成電路已經在研發階段- 除了集
成電路晶元中的晶體管越做越小，微納米加工技術
還可以將普通機械齒輪傳動系統微縮到肉眼無法觀
察的尺寸- 微納米加工技術可以製作單電子晶體管，
可以實現單個分子與原子操縱- 微納米加工技術可
以建築人類進入微觀世界的橋梁，是人類了解和利
用微觀世界的工具- 因此了解微納米加工技術對於
理解微納米技術，以及由微納米技術支撐的現代高
科技產業是非常重要的-
$ 微納米加工技術的分類
自人類發明工具以來，加工是人類生產活動的
主要內容之一- 所謂加工是運用各種工具將原材料
改造成為具有某種用途的形狀- 一提到加工，人們自
然會聯想到機械加工- 機械加工是將某種原材料經
過切削或模壓形成最基本的部件，然後將多個基本
部件裝配成一個復雜的系統- 某些機械加工也可以
稱為微納米加工- 因為就其加工精度而言，某些現代
磨削或拋光加工的精度可以達到微米或納米量級但本文所討論的微納米加工技術是指加工形成的部
件或結構本身的尺寸在微米或納米量級- 微納米加
工技術是一項涵蓋門類廣泛並且不斷發展中的技
術- 在 $%%7 年國際微納米工程年會上，曾有人總結
出多達 &% 種微納米加工方法- 可見實現微納米結構
與器件的方法是多樣的- 本文不可能將所有微納米
加工技術一一介紹- 對這些加工技術的詳細介紹目
前已有專著出版［』］
- 筆者在此僅將已開發出的微納
米加工技術歸納為三種類型作概括性的介紹-
!- " 平面工藝
以平面工藝為基礎的微納米加工是與傳統機械
加工概念完全不同的加工技術- 圖 』 描繪了平面工
藝的基本步驟- 平面工藝依賴於光刻（/0)(89:1*(;）
技術- 首先將一層光敏物質感光，通過顯影使感光層
受到輻射的部分或未受到輻射的部分留在基底材料
表面，它代表了設計的圖案- 然後通過材料沉積或腐
蝕將感光層的圖案轉移到基底材料表面- 通過多層
曝光，腐蝕或沉積，復雜的微納米結構可以從基底材
料上構築起來- 這些圖案的曝光可以通過光學掩模
投影實現，也可以通過直接掃描激光束，電子束或離
子束實現- 腐蝕技術包括化學液體濕法腐蝕和各種
等離子體干法刻蝕- 材料沉積技術包括熱蒸發沉積，
化學氣相沉積或電鑄沉積圖 』 平面工藝的基本過程：在矽片上塗光刻膠、曝光、
顯影，然後把膠的圖形通過刻蝕或沉積轉移到其他材料
平面工藝是最早開發的，也是目前應用最廣泛
的微納米加工技術- 平面工藝之所以不同於傳統機
械加工是因為：（』）微納米結構由曝光方法形成，而
不是加工工具與材料的直接相互作用- 所以限制加
工結構尺寸的不是加工工具本身的尺寸，而是成像
系統的解析度，例如光波的波長，激光束，電子束或
離子束直徑；（$）平面工藝一般只能形成二維平面
·%$·
微納米加工技術專題
!""#：$$%%%& %』()& *+& +, 物理
結構，或准三維結構，而不是真正的三維系統& 平面
工藝形成的三維結構是通過多層二維結構疊加而成
的；（.）平面工藝形成的是整個系統，而不是單個部
件& 由於每個部件如此之小，根本無法按傳統的先加
工分立部件然後裝配成系統的途徑& 所以系統中的
每個部件以及它們之間的關系是在平面加工過程中
形成的&
平面工藝產生於 /0 世紀 10 年代集成電路的開
發& 半導體晶體管由分立到集成就是基於平面工藝&
集成電路製造的平面工藝概括起來為 2 個基本方
面［/］
：
（3）薄膜沉積（(*456),7）& 包括各種氧化膜，多
晶硅膜，金屬膜等& 金屬連線，晶體管柵極，摻雜掩
模，絕緣層，隔離層，鈍化層等是集成電路的基本組
成部分&
（/）圖形化（#*""56,),7）& 所謂圖形化是在硅基
底和沉積的薄膜上形成各種電路圖形& 這包括光刻
和刻蝕兩個方面& 更確切地說，圖形化是集成電路微
納米加工的核心& 集成電路的結構是通過圖形化實
現的& 集成電路發展的歷史也是平面圖形化技術不
斷進步的歷史&
（.）摻雜（89#),7）& 晶體管的載流子區通過摻
雜形成，摻雜包括熱擴散摻雜和離子注入摻雜&
（2）熱處理（*,,5*(),7）& 離子注入後通過熱處
理可以恢復由離子轟擊造成的晶格錯位，熱處理也
可以使沉積的金屬膜與基底合金化，形成穩固的導
電層&
平面微納米加工技術雖然主要應用於集成電路
製造，但近年來微系統技術中也大量應用平面工藝
製作各種微機械、微流體和微光機電器件等& 例如，
圖 / 是美國 :;<=>; 國家實驗室通過平面工藝製作
的多齒輪傳動系統& 從表面來看，它與傳統機械加工
形成的齒輪傳動系統沒有什麼區別& 但這里的每個
齒輪的直徑不超過 3??& 即使當今最先進的精密機
械加工技術也無法製作這樣微小的齒輪& 它是通過
多層多晶硅沉積與刻蝕形成的& 而且各個齒輪以及
它們的傳動配合關系是通過巧妙的設計與硅平面工
藝的結合一次做成的& 微系統所需要的加工技術除
了沒有摻雜工藝外與集成電路的平面加工技術基本
相同& 但由於某些微系統特殊功能的需要，其結構尺
寸一般遠大於集成電路的結構尺寸& 因而產生了某
些適用於微系統的特殊平面工藝，例如厚膠曝光、電
鑄工藝、硅深刻蝕工藝以及製作微光學元件的灰度
曝光工藝等&
圖 / 美國 :;<=>; 國家實驗室利用多層硅平面工藝

❾ 請問用超微納米生物植入血液磁化療法治療的價格大約是多少

指導意見：
你好,具體費用很難確定的,這個應該根據醫院的等級和所處的城市而言,費用有所不同.先去有能夠治療資質的醫院 咨詢一下 .