1. pecvd干什麼的與mocvd區別在哪裡
pecvd:等離子增強化學氣象沉澱。在現在光伏材料鍍減放射膜工藝中使用有很好的效果。 MOCVD是金屬有機化合物化學氣相淀積(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文縮寫。MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長...
2. PECVD 是什麼
PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等離子體增強化學氣相沉積
它是電池片生產過程中的一道工序,(電池片的生產工序主要有1.清洗制絨 2.擴散 3.刻蝕。4.擴散後清洗 5.PECVD 6.絲網印刷 7.測試分選)PECVD主要是對電池片的正極面進行鍍膜從而加大電池片對光的吸收強度 目前據我知道的它主要分為板式和管式兩種工藝
3. PECVD定義
PECVD:是藉助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).
PECVD優點:基本溫度低;沉積速率快;成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。
PECVD缺點:
1.設備投資大、成本高,對氣體的純度要求高;
2.塗層過程中產生的劇烈噪音、強光輻射、有害氣體、金屬蒸汽粉塵等對人體有害;
3.對小孔孔徑內表面難以塗層等。
常見的PECVD薄膜:
氮化硅、氧化硅、氮氧硅等
4. 化學用品有那些
一般化學用品指常用的化學試劑,化工原料,化玻儀器,生化制劑以及濾紙,陽極及陽極袋,鈦籃,染料,色母等。
5. 什麼是 PEVCD
PECVD方法區別於其它CVD方法的特點在於等離子體中含有大量高能量的電子,它們可以提供化學氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發和電離過程,生成活性很高的各種化學基團,因而顯著降低CVD薄膜沉積的溫度范圍,使得原來需要在高溫下才能進行的CVD過程得以在低溫實現。由於PECVD方法的主要應用領域是一些絕緣介質薄膜的低溫沉積,因而PECVD技術中等離子體的產生也多藉助於射頻的方法。本實驗室使用射頻等離子體增強化學氣相沉積(RF-PECVD),射頻電源採用電容耦合方式,射頻頻率為27.12MHz。
6. 化學實驗室的常用器材有哪些
化學實驗室的常用器材有:
1、燒杯:燒杯是指一種常見的實驗室玻璃器皿,由玻璃、塑料、或者耐熱玻璃製成。燒杯呈圓柱形,頂部的一側開有一個槽口,便於傾倒液體。燒杯廣泛用作化學試劑的加熱、溶解、混合、煮沸、熔融、蒸發濃縮、稀釋及沉澱澄清等。
2、量筒:量筒是量度液體體積的儀器。規格以所能量度的最大容量(mL)表示,常用的有10 mL、25mL、50 mL、100 mL、250 mL、500 mL、1000 mL等。外壁刻度都是以 mL為單位,10 mL量筒每小格表示0.2 mL,而50 mL量筒每小格表示1mL。
3、試管:試管,化學實驗室常用的儀器,用作於少量試劑的反應容器,在常溫或加熱時(加熱之前應該預熱,不然試管容易爆裂。)使用。試管分普通試管、具支試管、離心試管等多種。普通試管的規格以外徑(mm)×長度(mm)表示,如15×150、18×180、20×200等。
4、酒精燈:酒精燈是以酒精為燃料的加熱工具,廣泛用於實驗室,工廠,醫療,科研等。由於其燃燒過程中不會產生煙霧,因此也可以通過對器械的灼燒達到滅菌的目的。又因酒精燈燃燒過程中產生的熱量,可以對其他實驗材料加熱。它的加熱溫度達到400—1000℃以上。
5、滴定管:滴定管是指在滴定操作中盛裝滴定劑溶液的量器。滴定管是一種細長、內徑大小均勻而具有刻度的玻璃管,管的下端有玻璃尖嘴,有25ml、50ml等不同的容積。
7. 化學氣相沉積法需要哪些實驗儀器和葯品
1,首先你需要一台化學氣相沉積機台,常見的有牛津的PECVD幾台。
2,葯品的話主要是一切特殊氣體,如硅烷,氮氣,氨氣,氧氣,笑氣,氟化碳氣體等。
3,試驗步驟建議使用田口的DOE實驗法,這樣你可以省去一些不必要的試驗。
8. PECVD中文簡稱及作用是什麼
PECVD:plasma enhanced chemical vapor deposition
等離子體增強化學氣相沉積
一般是用來沉積非金屬膜層的,比如氮化硅,非晶硅,氧化硅之類的。