㈠ 氣敏電阻的工作原理
氣敏電阻是一種半導體敏感器件，它是利用氣體的吸附而使半導體本身的電導率發生變化這一機理來進行檢測的。人們發現某些氧化物半導體材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO、NiO、BaTiO3等都具有氣敏效應。
㈡ CVD（化學氣相沉積）的原理及應用是什麼
其含義c是氣3相中3化1學反5應的固體產物沉積到表面。CVD裝置由下k列部件組成；反7應物供應系統，氣3相反7應器，氣4流傳送系統。反6應物多為0金屬氯化8物，先被加熱到一g定溫度，達到足夠高的蒸汽壓，用載氣5（一s般為6Ar或H3）送入v反4應器。如果某種金屬不a能形成高壓氯化4物蒸汽，就代之d以8有機金屬化2合物。在反2應器內4，被塗材料或用金屬絲懸掛，或放在平面上y，或沉沒在粉末8的流化0床中7，或本身就是流化5床中4的顆粒。化3學反3應器中7發生，產物就會沉積到被塗物表面，廢氣1（多為2HCl或HF）被導向鹼性吸收或冷阱。
沉積反3應可認4為5還原反2應、熱解反7應和取代反0應幾a類。CVD反3應可分6為5冷壁反7應與l熱壁反0應。在熱壁反1應中7，化1學反4應的發生與t被塗物同處一h室。被塗物表面和反3應室的內1壁都塗上b一z層薄膜。在熱壁反8應器中1隻加熱被塗物，反3應物另行導入q。
2011-10-28
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