微纳米生物芯片技术多少钱

❶ 什么是微纳米技术

微纳米技术（MEMS,nanotechnology）为微机电系统(MEMS)技术和纳米科学技术（nanoscienceandtechnology,nanoST）的简称。是20世纪80年代末在美国、日本等发达国家兴起的高新科学技术。由于其巨大的应用前景，因此自问世以来微纳米技术受到了各国政府和学者的普遍重视，是当前科技界的热门研究领域之一。

微机电系统技术主要涉及0.1μm到数毫米尺度范围内的传感器、微执行器和微系统的研究开发，它以单晶硅为基本材料，以光刻并行制造为主要加工特点，采用微电子工艺设备结合其他特殊工艺设备作为加工手段。

纳米尺度一般是指1～100nm，纳米科学是研究纳米尺度范畴内原子、分子和其他类型物质运动和变化的科学，而在同样尺度范围内对原子、分子等进行操纵和加工的技术则称为纳米技术，纳米尺度的机电系统则称作纳机电系统。

可见二者之间既有联系又有区别，前者是后者的基础，而后者是前者的发展方向。

❷ 纳米芯片的研发现在到了什么地步

在2002年7月份，曾在几年前宣布摩尔定律死刑的这一定律的创始人戈登·摩尔接受了记者的采访。不同的是，这次他表现得很乐观，他表示：“芯片上晶体管数量每18个月增加二倍的速度虽然目前呈下降趋势，但随着纳米技术的发展，未来摩尔定律依然会继续生效。”

看来，摩尔本人也把希望寄托在了纳米技术上。下面就让我们来看看纳米技术怎样制造纳米芯片。

20世纪可以说是半导体的世纪，也可以说是微电子的世纪，微电子技术是指在半导体单晶材料(目前主要是硅单晶)薄片上，利用微米和亚微米精细结构技术，研制由成千上万个晶体管和电子元件构成的微缩电子电路(称为芯片)，并由不同功能的芯片组装成各种微电子仪器、仪表和计算机。芯片也可以看做是集成电路块。

集成电路块由小规模向大规模发展的历程，可以看做是一个不断向微型化发展的过程。20世纪50年代末发展起来的小规模集成电路，它的集成度(一个芯片包含的元件数)为10个元件；20世纪60年代发展成中规模集成电路，集成度为1000个元件；20世纪70年代又发展了大规模集成电路，集成度达到10万个元件；20世纪肋年代更发展了特大规模集成电路，集成度超过100万个元件。就在1988年，美国国际商用机器公司(1BM)已研制成功存储容量达64兆的动态随机存储器，集成电路的条宽只有0 .35微米。

目前实验室研制的新产品为0?25微米，并向0?1微米进军。到2001年已降到0?1微米，即100纳米。这将成为电子技术史上的第四次重大突破。今天，芯片的集成度已进一步提高到1000万个元件。如果芯片的技术再往上攀一层，集成电路的条宽再缩小，将会出现一系列物理效应，从而限制了微电子技术的发展。

科学家为了冲破这个阻碍，为了解决这个困难，已经提出纳米电子学的概念。这一现象说明了：随着集成电路集成度的提高，芯片中条宽越来越小，因此对制作集成电路的单晶硅材料的质量要求越来越高，哪怕是一粒灰尘也可能毁掉一个甚至几个晶体管，这也是为什么摩尔本人几年前宣判摩尔定律“死刑”的原因。

据有关专家预测，在21世纪，人类将开发出微处理芯片与活细胞相结合的电脑。这种电脑的核心元件就是纳米芯片。芯片是电脑的关键器件。同时也是生命科学和材料科学的发展核心内容，科学家们正在开发生物芯片，包括蛋白质芯片及DNA芯片。

所谓的蛋白质芯片，就是用蛋白质分子等生物材料，通过特殊的工艺制备成超薄膜组织的积层结构。例如把蛋白质制备成适当浓度的液体，使之在水面展开成单分子层膜，再将其放在石英层上，以同样方法再制备一层有机薄膜，即可得到80～480纳米厚的生物薄膜。这种薄膜由两种有机物薄膜组成。当一种薄膜受紫外光照射时，电阻上升约40％左右，而用可见光照射时，又恢复原状。而另一种薄膜则不受可见光影响，但它受到紫外光照射时，电阻便减少6％左右。

据了解，日本三菱电机公司把两种生物材料组合在一起，制成了可以光控的新型开关器件。并且这种器件深受人们的喜爱。这种薄膜为进一步开发生物电子元件奠定了实验基础，并为以后的发展创造了良好的条件。

这种蛋白质芯片，体积小、元件密度高，据测每平方厘米，可达1015～1016个，比硅芯片集成电路高上万倍，表明这种芯片制成的装置其运行速度要比目前的集成电路快得多。

由于这种芯片是由蛋白质分子组成的，在一定程度上具有自我修复能力，即成为一部活体机器，因此可以直接与生物体结合，如与大脑、神经系统有机地连接起来，可以扩展脑的延伸。

有人设想，将蛋白质芯片植入大脑，将会出现奇迹。那么如果视觉先天缺陷或后天损伤是否可以得到修复，使之重现光明呢？

虽然目前生产与装配上述分子元件还处于探索阶段，而且天然蛋白质等生物材料不能直接成为分子元件，必须在分子水平上进行加工处理，但这种生物芯片的前途是光明的，它将会给人类带来一份厚重的礼物。世界上一些大公司，如日立、夏普等都看好生物芯片的前景，十分重视这项研究工作。

人的大脑约有140亿个神经细胞，掌管支配着思维、感觉及全身的活动。虽然电脑已面世多年；但其精细程度和人脑相比，仍然差一大截。

为了使电脑早日具有人脑的功能和效率，科学家近年致力研究开发人工智能电脑，并已取得不少进展。人工智能电脑是以生物芯片为基础的。生物芯片有多种，血红蛋白集成电路就是新型的生物芯片之一。

美国生物化学家詹姆士·麦克阿瑟，首先构想把生物技术与电子技术结合起来。他根据电脑的二进制工作原理，发现血红蛋白也具有类似“开”和“关”的双稳态特性。比如当改变血红蛋白携带的电荷时，它会出现上述两种变化，这就有可能利用生物的血红蛋白构成像硅电子电路那样的逻辑电路。麦克阿瑟利用生物工程的重组DNA技术，制成了血红蛋白“生物集成电路”，使研制“人造脑袋”取得了突破性进展。从这次事件以后，生物集成电路的研究便逐步展开。

美国科学家在硅晶片上重组活细胞组织获得成功。它具有硅晶片的强度，又有生物分子活细胞那样的灵活和智能。德国科学家所研制成的聚赖氨酸立体生物晶片，在1立方毫米晶片上可含100亿个数据点，运算速度更达到10皮秒(一千亿分之一秒)，比现有的电脑都要快近100万倍。

DNA芯片又称基因芯片，DNA是人类的生命遗传物质脱氧核糖核酸的简称。因为DNA分子链是以ATGC(A-T、G-C)为配对原则的，它采用的是叫做“在位组合合成化学”和微电子芯片的光刻技术或者用其他方法，将大量特定顺序的·DNA片段，有序地固化在玻璃或者硅片上，从而构成储存有大量生命信息的DNA芯片。

DNA芯片，是近年来在高新科技领域出现的具有时代特征的重大技术创新，它孕育着一个极为广阔的前景。

每一个DNA就是一个微处理器。DNA的存储量是很大的，每克DNA可以储存上亿个光盘的信息。并且DNA计算速度是超高速的，理论上计算，它的运算速度每小时可达1015次数，是硅芯片运算速度的1000倍。不过，目前的主要难点是解决DNA的数据输出问题。

DNA芯片有可能将人类的全部约8万个基因集约化地固定在1平方厘米的芯片上。在与待测样品的DNA配对后，DNA芯片即可检测出大量相应的生命信息。例如寻找基因与癌症、常见病、传染病和遗传疾病的关系，进一步研究相应药物。

目前已知有6000多种遗传病与基因相关，还有些是环境对人体的影响，例如花粉过敏和对环境污染的反应等都与基因有关。据了解，到目前为止，已有200多个与环境影响相关的基因，这些基因的全面监测，对生态、环境控制及人类健康均有重要意义。

DNA芯片技术既是人类基因组研究的重要应用课题，又是功能基因研究的崭新手段。例如单核苷酸的多态性，是一个非常重要的生命现象，科学家认为，人体的多样性和个性取决于基因的差异，正是这种单核苷酸多态性的表现，如人的体形、长相与500多个基因相关。通过DNA芯片，原则上可以断定人的特征，甚至脸形、长相、外貌特点，生长发育差异等。

“芯片巨人”英特尔公司于2000年12月公布，英特尔公司用最新纳米技术研制成功30纳米晶体管芯片。新型芯片的运算速度已达到目前运算速度最快芯片的7倍。它能在子弹飞行30厘米的时间内运算2000万次，或在子弹飞行25毫米的时间内运算200万次。

晶体管门是计算机芯片进行运算的开关，新芯片是以3个原子厚度的晶体管“门”为基础，比目前计算机使用的180纳米晶体管薄很多。要制造这种芯片的障碍就要控制它产生的热量。因为芯片的运行速度越快，产生的热量就越多。过多的热量会使制造计算机芯片所用的材料受到损坏。英特尔公司经过了长期的研究，解决了这一问题。这种原子级晶体管是用新的化学合成物制成的，这种新材料可以使芯片在运行时温度不会过高。这种芯片的出现将为研制模拟以人的方式，这就可以为和人进行交流的电脑创造也优越的条件。英特尔公司说，他们开发出的这种迄今世界上最小最快的晶体管，厚度仅为30纳米。英特尔公司称，用这种新处理器制造的产品投放到市场，这就将为芯片行业的发展打开了另一道黄金之门。

英特尔公司的一位工程师说：“30纳米晶体管的研制成功使我们对硅的物理极限有了新看法。硅也许还可以使用15年，此后会有什么材料取代硅，这将是难以预测的事情。”他又说：“更小的晶体管意味着更快的速度，而运行速度更快的晶体管是构筑高速电脑芯片的核心模块，电脑芯片则是电脑的‘大脑’。”英特尔公司预测，利用30纳米晶体管设计出的电脑芯片可以使“万能翻译器”成为现实。比如说英语的人到中国旅游，通过随身携带的翻译器，可以将英语实时翻译成中文，在机场、旅馆或商店不会有语言障碍。

在安全设施方面，这种芯片可以使警报系统识别人的面孔。此外，将来用几千元人民币就可以买一台高速台式电脑，其运算能力可以跟现在价值上千万元的大型主机媲美，慢慢地将会渗透到我们的生活中。

单位面积上晶体管的个数是电脑芯片集成度的标志，晶体管数量越多，说明集成度越高，随之处理速度就越快。30纳米晶体管将开始出现在用0?07微米技术产品上，目前英特尔公司使用的是0?18微米技术，而1993年的“奔腾”处理器使用的是0?35微米技术。在芯片上“刻画”电路，0?07微米技术用的是超紫外线光刻技术，这将比2001年最先进的深紫外线光刻技术更为先进。如果在纸上画线，深紫外线光刻使用的是钝铅笔，而超紫外线光刻使用的是削尖了的铅笔。

晶体管越来越小的好处主要有两方面：一是可以用较低的成本提高现有产品性能；二是工程师可以设计原来不可能的新产品。

这两个好处正是推动半导体技术发展前进的动力，因为企业提高了利润，就有可能在研发上投入更多。

看来，纳米技术的确可以延长摩尔定律的寿命，这也正是摩尔本人和众多技术人员把目光放到纳米技术之上的原因所在。希望在不久的将来，这一高技术将在人间问世。

❸ 微纳米生物芯片技术的简介

据悉，国际最新癫痫治疗高科技项目微纳米生物芯片技术已经取得解放军军部、国家权威医疗卫生部门认可和临床验证，并被允许临床推广。

❹ 芯片的纳米技术指的是什么

芯片的纳米技术指的是采用纳米技术，让芯片缩小制程，从而在更小的芯片中塞入更多的电晶体，以此增加处理器的运算效率。纳米技术可以减小芯片体积，也有助于降低耗电量，满足轻薄化的需求。

纳米制程是什么

纳米制程技术是英特尔推出的处理器制造技术。CPU制造工艺又叫做CPU制程，它的先进与否决定了CPU的性能优劣。以14 纳米为例，其制程是指在芯片中，线最小可以做到 14 纳米的尺寸。缩小电晶体的最主要目的就是为了要减少耗电量。

纳米技术也称毫微技术，纳米是一种几何尺寸的度量单位，1纳米=百万分之一毫米。纳米是用单个原子、分子制造物质的科学技术。纳米科学与技术主要包括纳米体系物理学、纳米化学、纳米材料学、纳米生物学、纳米电子学、纳米加工学、纳米力学等。

❺ 微纳米生物芯片技术的优势

优势一：
高效治疗效果，彻底治愈杜绝复发。“微纳米生物芯片技术”从根本解决了癫痫发作病因以及顽固不愈反复发作的根本。治疗一周内即可出院，临床诊治24561例患者经全程观察监测无一例子复发/发作症状。
优势二：
“微纳米生物芯片技术”快速阻断大脑神经元异常放电，迅速修复大脑受损脑细胞，促进新细胞再生，从而缩短治疗时间。并减轻癫痫发作强度，通过阻断神经元异常放电，阻止癫痫继续发作的作用。对有发作征兆的癫痫患者，可以起到推迟发作时间、发作强度的作用。并有效缓解癫痫发作过程中，大脑强烈的异常放电对脑组织的损伤，和癫痫发作后出现的眩晕、头痛等不良症状。
优势三：
“微纳米生物芯片技术”注重癫痫发病原因和发病机制的探究，利用美国HC全数字化癫痫病灶定位系统，五分钟便可迅速查出大脑异常放电区域，精确定位癫痫病灶部位，准确诊断出发病的病因和病理，进行癫痫分型、分类、分性、分期的全方位个性化治疗。
优势四：
绿色安全无创修复。不用手术无风险，无需吃药更安全，不需要像传统治疗那样需要进行开颅手术，由于生物芯片智能调节颅内神经兴奋及异常发作的微弱电流，患者治疗完全无风险无痛苦。“微纳米生物芯片技术”是一种系统化综合性治疗方案，从前期的源灶定位到后期的放电阻断、内源修复，均是通过仪器治疗完成，加上治疗所取得的卓越效果，患者再也不用终生用药，完全不用担心药毒副作用，本世纪神经内科无创自然康复的新突破。

❻ 微纳米生物芯片技术的作用

微纳米技术作用：从根本解决了癫痫发作病因以及顽固不愈反复发作的根本。治疗周期2-3天即可出院，通过临床应用36540例观察，无1例出现症状发作。从而全方位、多方面、精细阻断大脑皮层的异常放电，达到立体综合地治疗癫痫疾病，杜绝发作，实现临床治愈。该技术标本兼治，是目前国际最为先进的癫痫专项技术。

❼ 微纳米生物芯片技术的原理

生物芯片技术原理：首先利用生物智能全数字癫痫定位仪查出致痫病灶，并进行精确定位，运用生物芯片技术进行植入病灶顶部，运用生物芯片调节神经兴奋及异常发作的微小电流，芯片植入后(就是出现发作人体也感应不到，因为电流被芯片吸收，就不会出现电流刺激神经和脑细胞，各种肢体抽搐等异常症状即刻消失)。而治疗系统中另一项需同时进行的血液磁化技术，它是依据生物物理学、生物磁学、生物光学、生物化学的原理，将磁、光、氧有机结合形成磁共振作用，以血液为媒介调节机体代谢实现对机体的治疗，它能感应和影响人体电流分布、电荷微粒的运动、膜系统的通透性和生物高分子的磁矩取向等，清除大脑异常电流，稳定神经细胞膜，提高神经细胞兴奋阈，抑制大脑神经元高频放电和冲动的传播。在脑部形成稳定的生物磁场，使异常放电的神经元电位趋于平衡，调整神经网路电失衡。对神经细胞功能失调有整合作用,对缺氧破损的神经细胞有修复作用,可以增进神经细胞的重新生长,针对性的修复受损的神经细胞，从而产生镇静、解痉作用，激发神经自身保护功能，促使神经功能恢复。

❽ 微米技术可以做什么

可以通过微米光的技术一次性治愈各种赘生物（如尖锐湿疣），或者是治疗宫颈柱状上皮外移糜烂面的修复。
微米光治疗仪的作用，微米光是一种新型光疗治疗仪，还有各种微量元素光元素，具有方向性好、穿透力强的优势。可以通过微米光的技术一次性治愈各种赘生物（如尖锐湿疣），或者是治疗宫颈柱状上皮外移糜烂面的修复。微米光可以在较短的时间内使病变组织部位的蛋白质固化，增强局部的免疫力，改善机体的免疫功能状态，促进局部组织的新陈代谢，还可以消炎消肿促进局部组织的愈合。
微米光治疗仪的作用，微米光是一种新型光疗治疗仪，还有各种微量元素光元素，具有方向性好、穿透力强的优势。可以通过微米光的技术一次性治愈各种赘生物（如尖锐湿疣），或者是治疗宫颈柱状上皮外移糜烂面的修复。微米光可以在较短的时间内使病变组织部位的蛋白质固化，增强局部的免疫力，改善机体的免疫功能状态，促进局部组织的新陈代谢，还可以消炎消肿促进局部组织的愈合。
摘 要 材料与结构在微纳米尺度展现了许多不同于宏观尺度的新特征，纳米技术已经成为当前科学研究与工
业开发的热门领域之一& 微小型化依赖于微纳米尺度的功能结构与器件，实现功能结构微纳米化的基础是先进的
微纳米加工技术& 文章对微纳米加工技术做了一个综合的介绍，简要说明了微纳米加工技术与传统加工技术的区
别& 在微纳米加工技术的应用方面提出了一些合理选择加工技术的原则，并对当前微纳米加工技术面临的挑战和
今后发展的趋势作了预测&
关键词 微纳米技术，微纳米加工，微系统技术，微小型化
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5 引言
当 5MNH 年 5E 月美国贝尔实验室的科学家发明
了世界上第一只晶体管，他们不会想到 F6 多年后的
今天，这场由晶体管引发的微电子技术革命已经深刻
地影响了现代社会的面貌& 由半导体微电子技术以及
由此引发的各种微型化技术除了成为现代高科技产
业的主要支柱之外，也深入到现代生活的所有领域，
尤其是所谓 O/ 领域，即消费类电子产品（+=,7’<39），
计算机（+=<#’"39）与通信（+=<<’,)+*")=,）& 今天，功
能强大的笔记本计算机，品种繁多小巧玲珑的多功能
移动通信工具和花样翻新的家用电器已随处可见& 除
了集成电路之外，微型化技术导致了微系统的发展，
开发出直径只有 5<< 的微马达，指甲大小的微摄像
头，豌豆大小的气相色谱分析装置，芯片上的光学平
台和化学分析实验室等& 如果说集成电路芯片提供了
一个系统的思考与决策的大脑，微系统技术则以各种
微传感器与微执行器提供了系统的感官、手与脚& 系
统微型化成为今后现代工业发展的必然趋势& 如果按
微型化的尺度衡量，集成电路技术与微系统技术还属
于微米技术& 自 E5 世纪以来，由半导体微电子技术引
发的微型化革命进入了一个新的时代，这就是纳米技
术时代& 从微米到纳米的过渡不仅仅是量的过渡而且
·;:·
"# 卷（$%%& 年）’ 期 ())*：++,,,- ,./0- 12- 23
代表了质的跃迁- 材料与结构在 ’%%34 以下显现出不
同于宏观世界的性质- 纳米科技为人类展现了微观世
界的新天地- 从晶体管到集成电路，从微电子到微机
械与微流体，从微米技术到纳米技术，微纳米技术已
经成为当今高科技的代名词无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米
技术，其共同的特征是功能结构的尺寸在微米或纳
米范围，因此可以统称为微纳米技术- 微纳米技术依
赖于微纳米尺度的功能结构与器件- 实现功能结构
微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术- 在过去
的 #% 年中，正是微纳米加工技术的发展促进了集成
电路的发展，导致集成电路的集成度以每 ’5 个月翻
一番的速度提高- 现代微纳米加工技术已经能够将
上亿只晶体管做在方寸大小的芯片上- 最小电路尺
寸为 6%34 的集成电路芯片已经开始大规模生产-
" 的集成电路芯片已开始小批量工业化生产，而
7#34 加工水平的集成电路已经在研发阶段- 除了集
成电路芯片中的晶体管越做越小，微纳米加工技术
还可以将普通机械齿轮传动系统微缩到肉眼无法观
察的尺寸- 微纳米加工技术可以制作单电子晶体管，
可以实现单个分子与原子操纵- 微纳米加工技术可
以建筑人类进入微观世界的桥梁，是人类了解和利
用微观世界的工具- 因此了解微纳米加工技术对于
理解微纳米技术，以及由微纳米技术支撑的现代高
科技产业是非常重要的-
$ 微纳米加工技术的分类
自人类发明工具以来，加工是人类生产活动的
主要内容之一- 所谓加工是运用各种工具将原材料
改造成为具有某种用途的形状- 一提到加工，人们自
然会联想到机械加工- 机械加工是将某种原材料经
过切削或模压形成最基本的部件，然后将多个基本
部件装配成一个复杂的系统- 某些机械加工也可以
称为微纳米加工- 因为就其加工精度而言，某些现代
磨削或抛光加工的精度可以达到微米或纳米量级但本文所讨论的微纳米加工技术是指加工形成的部
件或结构本身的尺寸在微米或纳米量级- 微纳米加
工技术是一项涵盖门类广泛并且不断发展中的技
术- 在 $%%7 年国际微纳米工程年会上，曾有人总结
出多达 &% 种微纳米加工方法- 可见实现微纳米结构
与器件的方法是多样的- 本文不可能将所有微纳米
加工技术一一介绍- 对这些加工技术的详细介绍目
前已有专着出版［’］
- 笔者在此仅将已开发出的微纳
米加工技术归纳为三种类型作概括性的介绍-
!- " 平面工艺
以平面工艺为基础的微纳米加工是与传统机械
加工概念完全不同的加工技术- 图 ’ 描绘了平面工
艺的基本步骤- 平面工艺依赖于光刻（/0)(89:1*(;）
技术- 首先将一层光敏物质感光，通过显影使感光层
受到辐射的部分或未受到辐射的部分留在基底材料
表面，它代表了设计的图案- 然后通过材料沉积或腐
蚀将感光层的图案转移到基底材料表面- 通过多层
曝光，腐蚀或沉积，复杂的微纳米结构可以从基底材
料上构筑起来- 这些图案的曝光可以通过光学掩模
投影实现，也可以通过直接扫描激光束，电子束或离
子束实现- 腐蚀技术包括化学液体湿法腐蚀和各种
等离子体干法刻蚀- 材料沉积技术包括热蒸发沉积，
化学气相沉积或电铸沉积图 ’ 平面工艺的基本过程：在硅片上涂光刻胶、曝光、
显影，然后把胶的图形通过刻蚀或沉积转移到其他材料
平面工艺是最早开发的，也是目前应用最广泛
的微纳米加工技术- 平面工艺之所以不同于传统机
械加工是因为：（’）微纳米结构由曝光方法形成，而
不是加工工具与材料的直接相互作用- 所以限制加
工结构尺寸的不是加工工具本身的尺寸，而是成像
系统的分辨率，例如光波的波长，激光束，电子束或
离子束直径；（$）平面工艺一般只能形成二维平面
·%$·
微纳米加工技术专题
!""#：$$%%%& %’()& *+& +, 物理
结构，或准三维结构，而不是真正的三维系统& 平面
工艺形成的三维结构是通过多层二维结构叠加而成
的；（.）平面工艺形成的是整个系统，而不是单个部
件& 由于每个部件如此之小，根本无法按传统的先加
工分立部件然后装配成系统的途径& 所以系统中的
每个部件以及它们之间的关系是在平面加工过程中
形成的&
平面工艺产生于 /0 世纪 10 年代集成电路的开
发& 半导体晶体管由分立到集成就是基于平面工艺&
集成电路制造的平面工艺概括起来为 2 个基本方
面［/］
：
（3）薄膜沉积（(*456),7）& 包括各种氧化膜，多
晶硅膜，金属膜等& 金属连线，晶体管栅极，掺杂掩
模，绝缘层，隔离层，钝化层等是集成电路的基本组
成部分&
（/）图形化（#*""56,),7）& 所谓图形化是在硅基
底和沉积的薄膜上形成各种电路图形& 这包括光刻
和刻蚀两个方面& 更确切地说，图形化是集成电路微
纳米加工的核心& 集成电路的结构是通过图形化实
现的& 集成电路发展的历史也是平面图形化技术不
断进步的历史&
（.）掺杂（89#),7）& 晶体管的载流子区通过掺
杂形成，掺杂包括热扩散掺杂和离子注入掺杂&
（2）热处理（*,,5*(),7）& 离子注入后通过热处
理可以恢复由离子轰击造成的晶格错位，热处理也
可以使沉积的金属膜与基底合金化，形成稳固的导
电层&
平面微纳米加工技术虽然主要应用于集成电路
制造，但近年来微系统技术中也大量应用平面工艺
制作各种微机械、微流体和微光机电器件等& 例如，
图 / 是美国 :;<=>; 国家实验室通过平面工艺制作
的多齿轮传动系统& 从表面来看，它与传统机械加工
形成的齿轮传动系统没有什么区别& 但这里的每个
齿轮的直径不超过 3??& 即使当今最先进的精密机
械加工技术也无法制作这样微小的齿轮& 它是通过
多层多晶硅沉积与刻蚀形成的& 而且各个齿轮以及
它们的传动配合关系是通过巧妙的设计与硅平面工
艺的结合一次做成的& 微系统所需要的加工技术除
了没有掺杂工艺外与集成电路的平面加工技术基本
相同& 但由于某些微系统特殊功能的需要，其结构尺
寸一般远大于集成电路的结构尺寸& 因而产生了某
些适用于微系统的特殊平面工艺，例如厚胶曝光、电
铸工艺、硅深刻蚀工艺以及制作微光学元件的灰度
曝光工艺等&
图 / 美国 :;<=>; 国家实验室利用多层硅平面工艺

❾ 请问用超微纳米生物植入血液磁化疗法治疗的价格大约是多少

指导意见：
你好,具体费用很难确定的,这个应该根据医院的等级和所处的城市而言,费用有所不同.先去有能够治疗资质的医院 咨询一下 .