1. pecvd干什么的与mocvd区别在哪里
pecvd:等离子增强化学气象沉淀。在现在光伏材料镀减放射膜工艺中使用有很好的效果。 MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长...
2. PECVD 是什么
PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等离子体增强化学气相沉积
它是电池片生产过程中的一道工序,(电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀。4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选)PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度 目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺
3. PECVD定义
PECVD:是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).
PECVD优点:基本温度低;沉积速率快;成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。
PECVD缺点:
1.设备投资大、成本高,对气体的纯度要求高;
2.涂层过程中产生的剧烈噪音、强光辐射、有害气体、金属蒸汽粉尘等对人体有害;
3.对小孔孔径内表面难以涂层等。
常见的PECVD薄膜:
氮化硅、氧化硅、氮氧硅等
4. 化学用品有那些
一般化学用品指常用的化学试剂,化工原料,化玻仪器,生化制剂以及滤纸,阳极及阳极袋,钛篮,染料,色母等。
5. 什么是 PEVCD
PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显着降低CVD薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现。由于PECVD方法的主要应用领域是一些绝缘介质薄膜的低温沉积,因而PECVD技术中等离子体的产生也多借助于射频的方法。本实验室使用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD),射频电源采用电容耦合方式,射频频率为27.12MHz。
6. 化学实验室的常用器材有哪些
化学实验室的常用器材有:
1、烧杯:烧杯是指一种常见的实验室玻璃器皿,由玻璃、塑料、或者耐热玻璃制成。烧杯呈圆柱形,顶部的一侧开有一个槽口,便于倾倒液体。烧杯广泛用作化学试剂的加热、溶解、混合、煮沸、熔融、蒸发浓缩、稀释及沉淀澄清等。
2、量筒:量筒是量度液体体积的仪器。规格以所能量度的最大容量(mL)表示,常用的有10 mL、25mL、50 mL、100 mL、250 mL、500 mL、1000 mL等。外壁刻度都是以 mL为单位,10 mL量筒每小格表示0.2 mL,而50 mL量筒每小格表示1mL。
3、试管:试管,化学实验室常用的仪器,用作于少量试剂的反应容器,在常温或加热时(加热之前应该预热,不然试管容易爆裂。)使用。试管分普通试管、具支试管、离心试管等多种。普通试管的规格以外径(mm)×长度(mm)表示,如15×150、18×180、20×200等。
4、酒精灯:酒精灯是以酒精为燃料的加热工具,广泛用于实验室,工厂,医疗,科研等。由于其燃烧过程中不会产生烟雾,因此也可以通过对器械的灼烧达到灭菌的目的。又因酒精灯燃烧过程中产生的热量,可以对其他实验材料加热。它的加热温度达到400—1000℃以上。
5、滴定管:滴定管是指在滴定操作中盛装滴定剂溶液的量器。滴定管是一种细长、内径大小均匀而具有刻度的玻璃管,管的下端有玻璃尖嘴,有25ml、50ml等不同的容积。
7. 化学气相沉积法需要哪些实验仪器和药品
1,首先你需要一台化学气相沉积机台,常见的有牛津的PECVD几台。
2,药品的话主要是一切特殊气体,如硅烷,氮气,氨气,氧气,笑气,氟化碳气体等。
3,试验步骤建议使用田口的DOE实验法,这样你可以省去一些不必要的试验。
8. PECVD中文简称及作用是什么
PECVD:plasma enhanced chemical vapor deposition
等离子体增强化学气相沉积
一般是用来沉积非金属膜层的,比如氮化硅,非晶硅,氧化硅之类的。