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光刻机是干什么用的

发布时间:2022-05-25 05:07:35

⑴ 光刻机是干什么用的

刻机是用来制造芯片的。光刻机又被称为掩膜对准曝光机,在芯片生产中用于光刻工艺,而光刻工艺又是生产流程中最关键的一步,所以光刻机又是芯片生产中不可缺少的设备。

光刻机是干什么用的

光刻机决定了芯片的精密尺寸,设计师设计好芯片线路,在通过光刻机将线路刻在芯片上,其尺度通常在微米级以上。

光刻机是芯片生产中最昂贵也是技术难度最大的设备,因为其决定了一块芯片的整体框架与功能。

其实生产高精度芯片并不难,只是生产速度太慢,而光刻机能快速生产高精度的芯片,所以很重要。

⑵ 光刻机是什么啊有什么用

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.

Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);

在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

(2)光刻机是干什么用的扩展阅读:

光刻相关介绍:

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

在传统光学光刻技术逼近工艺极限的情况下,电子束光刻技术将有可能出现在与目前193i为代表的光学曝光技术及EUV技术相匹配的混合光刻中,在实现10nm级光刻中起重要的作用。

应该提到的是电子束曝光技术是推动微电子技术和微细加工技术进一步发展的关键技术,在微电子、微光学和微机械等微系统微细加工领域有着广泛的应用前景,而且除电子束直写光刻技术本身以外,几乎所有的新一代光刻技术所需要的掩模制作还是离不开电子束曝光技术。

⑶ 光刻机是什么造一台有多难

光刻机是制造集成电路中非常重要的设备,特别是现在市面上大部分的芯片都是属于电子芯片,当电子芯片的工艺小于一定的尺寸的时候,就必须依靠光刻机在制作芯片,也就是说如果没有光刻机就没有办法制造出顶级的芯片,比如市面上7nm芯片、5nm芯片等都不可能造出。而芯片在生活中是非常重要的,比如电脑、手机等电子产品都少不了。

ASML光刻机

荷兰的ASML光刻机基本上都是供不应求,中国也一直想要购买,但是现在还没有收到货。ASML的光刻机基本上都是内部消化了,毕竟台积电、三星以及英特尔本来就是芯片大户,台积电能够在芯片代工领域有今天的成绩,跟手上有这么多的光刻机也有很大的关系。

⑷ 光刻机 是干什么用的 重要吗 能国产吗

在现在的各种各样的电子产品中,芯片可以说是最重要的零件,而光刻机就是芯片制造的核心设备之一。

按照用途可以分为好几种,用于生产芯片;用于封装;用于LED制造领域。

用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。

⑸ 光刻机是用来做什么的

在光盘表面绣花的机器.有一种光盘,可以把图案印在盘表面上,就需要用到这种"光雕机".这与存数据的刻录机是另一回事.

⑹ 光刻机到底是做什么东西的

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);

在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

⑺ 为什么光刻机对我国那么重要

其实光刻机的作用就是制造芯片,就是这样一个不被人所熟知的设备能够占到芯片制造成本的35%以上,虽说这个机器的原理看起来很简单,但它的功能是十分重要的。当芯片结束了IC设计后就要被送到晶圆代工厂进行制造封装,比较有名的代工厂就是台积电、中芯国际等,像华为自己的研发芯片也同样是需要有这样的代工厂才能完整的制造出来,当前华为已经将14nm芯片的订单交到了中芯国际的手上了,但中芯国际没有7nm紫外光刻机,因此就没办法去制造芯片,而这也就是如今中国为什么这么迫切需要荷兰的7nm紫外光刻机的原因了。



其实形象点说芯片制造就如同盖房子,需要一层层地进行堆叠,才能把房子做出来,而要想有一个好房子,那么平稳的地基是必不可少的,而它就是晶圆。而光刻机加工就是要将芯片制作所用的线路和功能都做出来,不过这里要知道的是光刻刻出来的是电路图和电子元件,并将这些设计线路和功能都存进晶圆中。



而要想拥有这个光刻机技术是非常难的,当前它是属于全球中最尖端的技术之一,很少有国家能够拥有,因此高端光刻机的价格也是不菲,在这一领域不得不说荷兰是一个大霸主,全荷兰的ASML市场占有率有着80%,并且ASML是有着7nm技术光刻机的供应商,这在全球是独一无二的,也就是说这家公司几乎是垄断了整个市场,当前的众多芯片产商都是需要这家公司的生产才能够制造出完美的芯片。荷兰之所以能够拥有一个全世界顶尖水平的光刻机厂商,首先就是因为ASML这家公司的研发投入十分大,2019年的研发成本支出达到了4.8亿欧元,他们的员工有四成都是研发类,加上他们的很多技术都是外包,因此让他们有了更多的时间和机会去研发核心技术。



另外ASML这家公司的镜片技术十分高,有着上百年的技术积累,并且它还是采用德国、美国提供的多种技术,虽说是一家荷兰公司,但它背后有着整个欧美顶端科技的支持。如今中国在光刻机这一领域依旧是很大的短板,这对我们研究芯片,半导体都有着很大的影响,因此如果芯片领域被西方国家制裁,那么中国的科技领域必将受到打击。不过当前中芯国际经过资源和技术整合,将在下半年开出中国第一条14nm生产线,这对5G技术等行业的发展起着关键作用,相信在不久的将来中国会将自己的国产芯片呈现给全世界。

⑻ 光刻机,是什么。怎样制作

光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。
二、工作原理
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。

⑼ 光刻机是干什么用的

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。

(9)光刻机是干什么用的扩展阅读

2019年与2020年在半导体领域,尤其是企业之间,光刻机是被炒得最热的一个话题,再怎么说芯片,最终都会说到光刻机上面去。

可能出口给我们DUV光刻机生产7nm的芯片,却将最先进的EUV光刻机出口给别的企业生产5nm芯片,即使不专门生产芯片的谷歌、高通,ASML也卖他们EUV光刻机。

⑽ 光刻机是干什么用的,工作原理是什么

一、用途

光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。

用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。

二、工作原理

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。

(10)光刻机是干什么用的扩展阅读

光刻机的结构:

1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。

2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。

3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。

4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。

5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。

6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。

7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。

8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。

9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。

10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。

11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、 notch。

12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。

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